سیمیکمڈکٹر گیس کی ترسیل: 316L EP بمقابلہ . الیکٹروپولشڈ مصر دات C -276

 

316L-EP غیر فعال گیسوں کے لئے کیوں کافی ہے؟
الیکٹروپولڈ 316L نے RA کو حاصل کیا<0.15μm with particle shedding below 5 particles/ft³ >0 . 1μm . نائٹروجن/آرگون کی ترسیل کے لئے 99 . 9995 ٪ طہارت پر توثیق کی گئی ہے۔ مساوی سطح کی تکمیل سرٹیفیکیشن کے ساتھ نکل مرکب سے 40 ٪ کم لاگت آتی ہے۔

 

جب C -276 لازمی ہوجاتا ہے؟
ہائیڈرائڈ گیسوں (ASH₃ ، B₂H₆) اور فلورین مرکبات . molybdenum (15-17 ٪) کے لئے HF بائی پروڈکٹ . سطح کے آئرن مواد سے چھپانے سے روکتا ہے۔<0.01% prevents catalytic decomposition. Required for 3nm node fabrication.

 

جائز دھاتی آلودگی کی سطح؟
سوڈیم<0.01 ppb after 72-hour exposure. Iron <0.05 ppb at point of use. Total heavy metals (Ni+Cr+Mo) <0.1 ppb. Outgassing rate below 5×10⁻¹¹ torr·L/s·cm² after vacuum baking.

 

ویلڈنگ پروٹوکول تنقیدی کنٹرول؟
Orbital GTAW with >99.999 ٪ ارگون پرج (O₂<20ppm). Heat input <15 kJ/inch prevents sensitization. Internal purge maintained until ambient temperature. Helium leak testing <1×10⁻⁹ mbar·L/s mandatory.

 

توثیق کی جانچ کی ترتیب؟
سطح کی دھاتوں کے لئے بخارات کے مرحلے کی سڑن ICP-MS . ٹائم آف فلائٹ سمز نامیاتی میپنگ . ذرہ گنتی فی IEST-STD-CC1246D کلاس 5. 400 ڈگری پر مصنوعی خدمت {. میں گیس سڑن کا تجزیہ {{.